半導體科技產業在生產製造的過程當中,過程中需要大量的冷卻水,而在環保意識盛行的風氣及相關法規的規範(行政院環境保護署 流放水標準 修正日期108年04月29日 晶圓製造及半導體製造業放流水水質項目及限值)之下,一般多是以製程回收水作為冷卻水的水源,以減少自來水的使用。在此運作之下,進入製程設備的冷卻水水質就很容易受到製程回收水的水質好壞影響,如何穩定冷卻水水質避免設備管路腐蝕等負面影響,成為半導體科技產業不可忽視的課題!
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